Surf-Cal, estándares de tamaño de partícula, volumen de 50 ml, premezclado a concentraciones de 1x10⁸ y 1x10¹⁰ ml.

Descripción

Estándares de tamaño de partícula SURF-CAL™ utilizados en la calibración y monitorización del tamaño de los sistemas de inspección de superficies por escaneo (SSIS). Los tamaños de partícula que se muestran a continuación corresponden a los tamaños de partícula de calibración requeridos por los fabricantes de instrumentos. Debe realizar comprobaciones de calibración periódicas y monitorización semanal del tamaño y el recuento para garantizar que su escáner de inspección de obleas sea comparable con los escáneres de otras ubicaciones. Todas las microesferas de poliestireno están suspendidas en agua desionizada y filtrada en un volumen de botella de 50 ml a una concentración de 3 × 10 E8 o 1 × 10 E10 partículas por ml. Los tamaños marcados con * son similares a las partículas SRM del NIST de ese diámetro. El índice de refracción es de 1.59 a 589 nm (25 °C) para todas las microesferas de poliestireno que se muestran a continuación. Cada botella es estable durante 12 meses y se entrega con un Certificado de Calibración y Trazabilidad al NIST.

Al depositar esferas de PSL (látex de poliestireno) trazables a NIST (SURF-CAL) sobre silicio desnudo y obleas de patrones, puede realizar comprobaciones periódicas de calibración de tamaño en sus herramientas SSIS de KLA-Tencor, Hitachi, ADE y Topcon, y comparar su escáner de inspección de obleas con escáneres en otras ubicaciones. También puede evaluar el rendimiento de su SSIS en etapas críticas del proceso de fabricación. Todos los productos están suspendidos en agua desionizada y filtrada (agua DI) en botellas de 50 ml a una concentración de 3 x 10¹⁰ partículas/ml o 1 x 10¹⁰ partículas/ml. Estos estándares de tamaño de partículas Surf-Cal son microesferas de poliestireno cuyo tamaño se ha determinado mediante un analizador de movilidad diferencial (DMA) u otras técnicas de exclusión por tamaño.

Metodología de Medida:

Para asegurar la trazabilidad del NIST, los diámetros certificados de estos productos se transfirieron mediante microscopía electrónica de transmisión u óptica a partir de materiales de referencia estándar del NIST (2). La incertidumbre se calculó utilizando la Nota Técnica 1297 del NIST, Edición de 1994 “Directrices para evaluar y expresar la incertidumbre de los resultados de medición del NIST” (4). La incertidumbre listada es la incertidumbre expandida con un factor de cobertura de dos (K=2). El diámetro del pico se calculó utilizando aproximadamente el rango de ± 2s de la distribución del tamaño de partícula. La distribución del tamaño se calculó como la desviación estándar (SDS) del pico completo. El coeficiente de variación (CV) es una desviación estándar expresada como un porcentaje del diámetro del pico. La distribución FWHM (ancho completo a la mitad del máximo) se calculó como la distribución a la mitad de la altura del pico expresada como un porcentaje del diámetro del pico.

1. “Hoja de ruta tecnológica nacional para semiconductores”, Asociación de la Industria de Semiconductores (1999)

2. SD Duke y EB Layendecker, “Método de estándar interno para la calibración del tamaño de partículas esféricas submicrométricas mediante microscopía electrónica”, Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 — Guía para la especificación de sistemas de inspección de superficies para obleas de silicio de la generación de tecnología de 130 nm.

4. Barry N. Taylor y Chris E. Kuyatt, “Directrices para evaluar y expresar la incertidumbre de los resultados de las mediciones del NIST”. Nota técnica 1297 del NIST, edición de 1994, septiembre de 1994.