NIST, Material de Referencia Estándar, microesferas y perlas de poliestireno utilizadas en los estándares de calibración y contaminación de obleas para verificar la precisión del tamaño de los sistemas de inspección de obleas KLA y KLA-Tencor.
NIST…
NIST, Material de Referencia Estándar, microesferas y perlas de poliestireno utilizadas en los estándares de calibración y contaminación de obleas para verificar la precisión del tamaño de los sistemas de inspección de obleas KLA y KLA-Tencor.
Los estándares de tamaño de partícula NIST SRM son los estándares de calibración reconocidos mundialmente para cualquier aplicación que requiera un estándar de tamaño NIST SRM (material de referencia de tamaño) con una precisión extrema, picos de tamaño estrechos y una desviación estándar reducida. Se pueden utilizar para la calibración y validación de diversos equipos de medición de tamaño de partícula, como instrumentos de dispersión de luz, microscopios electrónicos y analizadores de movilidad diferencial. Son especialmente importantes para la calibración de sistemas de inspección por escaneo de superficie, que se utilizan para detectar y caracterizar defectos en obleas de silicio. Se necesitan partículas de referencia precisas para desarrollar y optimizar los sistemas de escaneo para la producción de obleas de alto rendimiento y rentable, crucial para la miniaturización de dispositivos. Las partículas de referencia también se pueden utilizar para suministrar partículas monodispersas (con un único pico de tamaño) para probar instrumentos de aerosol y son útiles para examinar la cinética de los aerosoles y evaluar la respuesta de los detectores de partículas.
Valor certificado para el diámetro modal:
SRM de 60 nm 1964 Las microesferas de poliestireno tienen un tamaño de 60.39 nm, con una incertidumbre expandida de ± 0.63 nm;
100 nm SRM 1963A Las microesferas de poliestireno tienen un tamaño de 101.8 nm, con una incertidumbre expandida de ± 1.1 nm;
SRM de 269 nm 1691 Las microesferas de poliestireno tienen un tamaño de 269 nm, con una incertidumbre expandida de ± 4 nm;
SRM de 895 nm 1690 El tamaño de las microesferas de poliestireno es de 895 nm, con una incertidumbre expandida de ± 5 nm.
Las mediciones se realizaron utilizando análisis de movilidad diferencial y son trazables a la longitud de onda del láser He-Ne en el aire, 632.807 nm, que se ha determinado con respecto al patrón fundamental de longitud.
Los diámetros esféricos se calibran con dimensiones lineales calculadas por el NIST. Se utilizan esferas en lugar de partículas de forma irregular para minimizar la respuesta de los escáneres láser, que son sensibles a las partículas con formas irregulares. Los estándares se envasan como suspensiones acuosas en frascos cuentagotas de 5 mililitros (ml). Las concentraciones de partículas se optimizan para facilitar la dispersión y garantizar la estabilidad coloidal. Las esferas tienen una densidad de 1.05 g/cm³ y un índice de refracción de 1.59 a 589 nm, medido a 25 grados centígrados.
Cada paquete incluye un Certificado de Calibración y Trazabilidad al NIST, que contiene una descripción del método de calibración y su incertidumbre, así como una tabla de propiedades químicas y físicas. También se incluye una Hoja de Datos de Seguridad del Material con instrucciones de manipulación y eliminación. Los frascos de PSL están numerados por lote para facilitar el servicio técnico y la asistencia posventa.
| Esferas SRM del NIST | 60.4nm, 101.8nm, 269nm y 895nm |
| Composición de partículas | Látex de poliestireno, esferas de PSL |
| Densidad de particula | 0.625 g / cm³ |
| Índice de refracción | 1.59 a 589 nm (25 °C) |
| Tamaño de la botella | 5 ml |
| Fecha de caducidad | ≤ 24 meses |
| Aditivos | Contiene cantidades mínimas de tensioactivo. |
| Temperatura de almacenamiento sugerida. | 2 8-° C |
| Tamaño y volumen de la botella | Botella 5ml |
| Esferas PSL, NIST SRM, 60.4 nm, 101.8 nm, 269 nm, 895 nm | ||||
|
Número de pieza del producto |
Diámetro nominal |
Pico medio certificado |
Desviación estándar y CV |
Contenido de sólidos |
|
AP1690 |
895 nm |
895 nm ± 5 nm |
0.7 nm |
un 0.50% |
|
AP1691 |
269 nm |
269 nm ± 4 nm |
5.3 nm |
un 0.50% |
|
AP1963A |
101.8 nm |
101.8 nm ± 1.1 nm |
0.55 nm |
un 0.50% |
|
AP1964 |
60.4 nm |
60.39 nm ± 0.63 nm |
0.31 nm |
un 0.50% |
Únicamente los clientes que hayan adquirido este producto puede dejar un comentario.
Testimonios
No hay comentarios aún.