Surf-Cal, estándares de tamaño de partículas, volumen de 50 ml, premezclado a 1x10E8 y 1x10E10 Concentración / ml

Estándares de tamaño de partículas SURF-CAL™ utilizados en la calibración y el monitoreo de tamaño de los sistemas de inspección de superficie de escaneo (SSIS). Los tamaños de partículas a continuación corresponden a los tamaños de partículas de calibración requeridos por los fabricantes de instrumentos. Debe realizar comprobaciones de calibración periódicas y un control semanal del tamaño y recuento para asegurarse de que su escáner de inspección de obleas se compare con los escáneres de otras ubicaciones. Todas las microesferas de poliestireno se suspenden en agua filtrada desionizada en un volumen de botella de 50 ml a una concentración de 3 × 10 E8 o 1 × 10 E10 partículas por ml. Los tamaños anotados con * son similares a las partículas NIST SRM en ese diámetro. El índice de refracción es de 1.59 @ 589nm (25C) para todas las microesferas de poliestireno a continuación. Cada botella es estable durante 12 meses y se envasa con un Certificado de Calibración y Trazabilidad al NIST.

Al depositar SURF-CAL, esferas de PSL (látex de poliestireno) rastreables por NIST en obleas de patrón y silicio desnudo, puede realizar verificaciones periódicas de calibración de tamaño en sus herramientas KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS y comparar su escáner de inspección de obleas con escáneres en otras ubicaciones. También puede evaluar el rendimiento de su SSIS en etapas críticas del proceso de fabricación. Todos los productos se suspenden en agua filtrada desionizada (agua DI) en botellas de 50 mL a una concentración de 3 x10 e10 partículas/mL o 1 x10 e10 partículas/mL. Estos patrones de tamaño de partículas Surf-Cal son microesferas de poliestireno que han sido dimensionadas por el Analizador de Movilidad Diferencial (DMA) u otras técnicas de exclusión de tamaño.

Metodología de Medida:

Para asegurar la trazabilidad del NIST, los diámetros certificados de estos productos se transfirieron mediante microscopía óptica o electrónica de transmisión a partir de materiales de referencia estándar del NIST (2). La incertidumbre se calculó utilizando la Nota técnica 1297 de NIST, edición de 1994, "Pautas para evaluar y expresar la incertidumbre de los resultados de medición de NIST" (4). La incertidumbre listada es la incertidumbre expandida con un factor de cobertura de dos (K=2). El diámetro del pico se calculó usando aproximadamente el intervalo de ± 2 s de la distribución del tamaño de partícula. La distribución de tamaños se calculó como la desviación estándar (SDS) del pico completo. El coeficiente de variación (CV) es una desviación estándar expresada como porcentaje del diámetro del pico. La distribución FWHM (ancho completo a la mitad del máximo) se calculó como la distribución a la mitad de la altura del pico expresada como porcentaje del diámetro del pico.

1. "Hoja de ruta tecnológica nacional para semiconductores", Asociación de la industria de semiconductores (1999)

2. SD Duke y EB Layendecker, "Método estándar interno para la calibración del tamaño de partículas esféricas submicrónicas mediante microscopía electrónica", Fine Particle Society (1988)

3 SEMI M52 - Guía para especificar sistemas de inspección de superficie para obleas de silicio de la generación de tecnología 130 nm.

4. Barry N. Taylor y Chris E. Kuyatt, "Pautas para evaluar y expresar la incertidumbre de los resultados de medición del NIST". NIST Technical Note 1297, edición de 1994, septiembre de 1994.