Surf-Cal, esferas de PSL, premezcladas para calibrar el tamaño de partícula del sistema de inspección de obleas
Esferas de PSL, látex de poliestireno, estándares de tamaño de partícula Surf-Cal
Las esferas de PSL SURF-CAL simplifican el trabajo de preparación de obleas de calibración en sus instalaciones al proporcionar esferas de PSL premezcladas en una botella 50ml. Los tamaños de partícula corresponden a los tamaños de punto de calibración requeridos por los fabricantes de instrumentos. Las concentraciones de partículas son partículas 1 x 10 e10 por ml. Los fabricantes de SEMI han exigido el uso de tamaños de partículas específicos al calibrar los sistemas de inspección de superficie de escaneo, también referidos a herramientas de inspección de obleas. Al trabajar con los fabricantes de instrumentos, las esferas SURF-CAL PSL cumplen con los estándares SEMI M52 (3) y M53. Los tamaños disponibles son nodos de dimensionamiento crítico según lo define la Hoja de ruta internacional de tecnología para semiconductores, ITRS (1).
Al depositar esferas SURF-CAL, PSL (látex de poliestireno) rastreables en silicio desnudo y obleas de patrón, puede realizar verificaciones periódicas de calibración de tamaño en sus herramientas KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS y comparar su escáner de inspección de obleas con escáneres en otros lugares También puede evaluar el rendimiento de su SSIS en las etapas críticas del proceso de fabricación.
Todos los productos se suspenden en agua desionizada y filtrada (agua DI) en botellas 50 mL a una concentración de partículas 3 x1010 por mL. Estas esferas de PSL han sido dimensionadas por el analizador de movilidad diferencial (DMA) u otras técnicas de exclusión por tamaño.
Metodología de Medida:
Para garantizar la trazabilidad del NIST, los diámetros certificados de estos productos se transfirieron mediante microscopía óptica o electrónica de transmisión a partir de materiales de referencia estándar del NIST (2). La incertidumbre se calculó utilizando la Nota técnica 1297 del NIST, edición de 1994 “Directrices para evaluar y expresar la incertidumbre de los resultados de las mediciones del NIST” (4). La incertidumbre enumerada es la incertidumbre expandida con un factor de cobertura de dos (K = 2). El diámetro del pico se calculó usando aproximadamente el rango de ± 2 s de la distribución del tamaño de partícula. La distribución de tamaño se calculó como la desviación estándar (SDS) de todo el pico. El coeficiente de variación (CV) es una desviación estándar expresada como porcentaje del diámetro del pico. La distribución FWHM (ancho completo a la mitad del máximo) se calculó como la distribución a la mitad de la altura del pico expresada como porcentaje del diámetro del pico.
1. "Hoja de ruta tecnológica nacional para semiconductores", Semiconductor Industry Association (1999)
2. SD Duke y EB Layendecker, "Método estándar interno para la calibración del tamaño de partículas esféricas submicrónicas mediante microscopía electrónica", Fine Particle Society (1988)
3 SEMI M52 - Guía para especificar sistemas de inspección de superficie para obleas de silicio de la generación de tecnología 130 nm.
4. Barry N. Taylor y Chris E. Kuyatt, "Directrices para evaluar y expresar la incertidumbre de los resultados de las mediciones del NIST". Nota técnica NIST 1297, edición de 1994, septiembre de 1994.
Composición de partículas | Látex de poliestireno, esferas de PSL, estándares de tamaño de partícula |
Concentración | 1 x 10e1010 partículas por ml |
Densidad de particula | 1.05 g / cm³ |
Índice de refracción | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
Volumen de relleno | 50 ml |
Contenido | Microesferas de poliestireno en agua desionizada y filtrada |
Fecha de caducidad | ≤ 12 meses |
Esferas de PSL, estándares de tamaño de partícula SURF-CAL | ||||
Producto Parte # | Diámetro pico certificado | Desviación Estándar | CV y FWHM | Partículas por ml en botella de volumen 50 mL |
AP-PD-047B | 47 nm | 4 nm | 7.5%, 17.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-064B | 64 nm | 3 nm | 5.4%, 10.9% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-083B | 83 nm | 4 nm | 4.2%. 9.6% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-092B | 92 nm | 4 nm | 4.6%, 9.1% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-100B | 100 nm | 3 nm | 2.6%, 5.2% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-125B | 126 nm | 3 nm | 2.4%, 4.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-155B | 155 nm | 3 nm | 1.6%, 3.7% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-200B | 202 nm | 4 nm | 1.8%, 4.0% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-204B | 204 nm | 4 nm | 1.8%, 3.7% | 1 x 10 e10 |
AP PD-215B | 220 nm | 3 nm | 1.6%, 3.3% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-305B | 304 nm | 4 nm | 1.4%, 3.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-365B | 360 nm | 10 nm | 1.3%, 2.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-500B | 498 nm | 6 nm | 2.0%, 5.0% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-800B | 809 nm | 6 nm | 0.8%, 1.8% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-802B | 802 nm | 9 nm | 1.1%, 2.4% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-1100B | 1.112 micras | 11 nm | 1.0%, 2.5% | 1 x 10 e10 |
AP-PD-1600 | 1.59 micras | 16 nm | 1.0%, 2.6% | 3 x 10 e8 |
AP-PD-2000 | 2.01 micras | 19 nm | 1.0%, 3.3% | 3 x 10 e8 |
AP-PD-3000 | 3.04 micras | 26 nm | 0.9%, 2.7% | 3 x 10 e8 |