Patrones de obleas de partículas de sílice, estándares de tamaño de partículas de sílice

Patrones de obleas de partículas de sílice, estándares de tamaño de partículas de sílice

Estándares de tamaño de partículas de sílice En los laboratorios de metrología de semiconductores actuales, las herramientas de inspección de obleas utilizan láseres de alta potencia para escanear obleas de silicio de 200 mm y 300 mm para detectar partículas superficiales de hasta < 30 nanómetros. Al calibrar el escaneo de alta potencia láser...
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