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Estándares de tamaño de partícula

Applied Physics Estados Unidos de America

Cuentas de látex de poliestireno, estándares de tamaño de partícula
Applied Physics EE. UU.: esferas de PSL, microesferas de poliestireno, estándares de tamaño de partículas

Applied Physics USA proporciona esferas de PSL y perlas de poliestireno como patrones de tamaño de partículas para la calibración de instrumentos de aerosol. Las herramientas de inspección de obleas, como KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE e Hitachi también requieren calibración de tamaño, que se logra mediante el uso de esferas de látex de poliestireno. Las esferas de PSL, las microesferas de poliestireno y las perlas se proporcionan en tamaños de 20 nm a 10 micrones para calibrar las curvas de respuesta de tamaño de los respectivos sistemas de inspección de obleas y contadores de partículas láser. Las esferas de PSL de 20 nm a aproximadamente 5 micrones se usan típicamente para calibrar la respuesta de tamaño de los contadores de partículas láser. Las microesferas de poliestireno se pueden usar para producir estándares de obleas de calibración y estándares de obleas de partículas, que se usan para calibrar la respuesta de tamaño de las herramientas KLA-Tencor Surfscan y las herramientas más antiguas de Tencor Surfscan.

 

Applied Physics Estados Unidos de America

Las perlas de látex de poliestireno se pueden pedir llamando al Applied Physics al (719) 428-4042.

Los sistemas de inspección de obleas, denominados sistemas de inspección de superficie de escaneo, SSIS, en particular de KLA-Tencor e Hitachi, se calibran con los estándares de obleas de PSL, que son obleas de silicio de primera calidad depositadas con esferas de PSL en tamaños específicos y una distribución de tamaño estrecha. Las herramientas de inspección de obleas se utilizan para inspeccionar la limpieza de superficies de obleas de 300 mm, 200 mm y 150 mm; Silicio desnudo o película depositada, superficie de oblea. El SSIS puede identificar la ubicación X/Y de las esferas y partículas de PSL, describir el tamaño de cada defecto y resumir un recuento general de partículas en la superficie de la oblea. Los sistemas de inspección de obleas KLA-Tencor, como Tencor 6200, 6420 y KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 y KLA-Tencor SP3, se utilizan en toda la industria de semiconductores para esta aplicación. Topcon tiene los sistemas de inspección de obleas de las series 3000, 5000 y 7000. Estek, ADE, Aeronca e Hitachi también ofrecen una variedad de sistemas de inspección de obleas. Casi todos los SSIS producidos en la actualidad ahora pueden detectar con una sensibilidad de tamaño de partícula de 30 nm o superior. Las esferas de PSL se utilizan para representar los estándares de tamaño de partícula en la superficie de la oblea. Applied Physics ofrece tamaños de esfera PSL de 20 nm a 160 micrones para calibración de tamaño, pruebas de filtro HEPA, etc. Las esferas PSL se pueden pedir llamando Applied Physics al (719) 428-4042.

Las esferas PSL se usan con los sistemas de deposición de obleas PSL para producir estándares de obleas PSL, también conocidos como estándares de obleas de partículas. En cualquier caso, después de que se produce el Estándar de obleas PSL, se coloca en un sistema de inspección de obleas y se escanea con un solo SSIS láser o un SSIS láser dual. La respuesta de tamaño de PSL real se compara con la respuesta de tamaño de SSIS. Si los dos picos no coinciden, el SSIS debe calibrarse. Las esferas PSL premezcladas de alta concentración son para sistemas 2300XP1, sistemas 2300 NPT-1, sistemas de deposición de obleas 2300NPT-2 y M2300G3.

Esferas de PSL, 1% de concentración.

Las esferas PSL premezcladas vienen en una botella 50ml, de tamaño monodisperso (distribución de tamaño 1), y se proporcionan de aproximadamente 47nm a 950nm. Esta solución de PSL se vierte directamente en el recipiente del nebulizador o atomizador. Premezclado es una forma conveniente de comprar las cuentas de látex de poliestireno, ya que toda la dilución se ha realizado de manera muy uniforme, sin complicaciones, sin problemas, lo que permite al usuario no tratar de mezclar las cuentas de látex de poliestireno con vasos de precipitados, agua DI y bandejas ultrasónicas. El material de PSL no mezclado se proporciona en una botella 15ml, de tamaño monodisperso (distribución de tamaño 1), y generalmente en una concentración de% 1. Estas esferas de PSL se proporcionan en una amplia gama de tamaños, pero para nuestros propósitos, desde 20nm hasta 4um. El material de PSL debe mezclarse a la dilución adecuada o será demasiado concentrado o demasiado débil para proporcionar resultados efectivos al intentar depositarlo en uno de los sistemas de deposición de obleas de PSL anteriores. Enlace CleanRoom Foggers

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