Name: Calibración del tamaño de partícula del material de referencia estándar NIST
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NIST SRM, estándares de tamaño de partícula, esferas de PSL, calibración de tamaño

Suspensiones de esfera PSL, NIST SRM, esferas de látex de poliestireno

Los estándares de tamaño de partículas NIST SRM son los estándares de calibración conocidos en todo el mundo para su uso con cualquier aplicación que requiera un estándar de tamaño NIST SRM (material de referencia de tamaño) con tamaños extremadamente precisos, picos de tamaño estrecho y desviación estándar estrecha. Se pueden usar para la calibración y validación de una variedad de equipos de dimensionamiento de partículas, incluidos instrumentos de dispersión de luz, microscopios electrónicos y analizadores de movilidad diferencial. Son particularmente críticos para calibrar los sistemas de inspección de escaneo de superficie, que se utilizan para detectar y caracterizar defectos en obleas de silicio. Se necesitan partículas de referencia precisas para desarrollar y avanzar los sistemas de escaneo para una producción de obleas rentable y de alto rendimiento que es crucial para la miniaturización del dispositivo. Las partículas de referencia también pueden usarse para suministrar partículas monodispersas (pico de tamaño único) para probar instrumentos de aerosol y son útiles para examinar la cinética de aerosol y evaluar la respuesta del detector de partículas.

El valor certificado para el diámetro modal:

60 nm SRM 1964 las microesferas de poliestireno es de 60.39 nm, con una incertidumbre expandida de ± 0.63 nm;

100 nm SRM 1963A las microesferas de poliestireno es de 101.8 nm, con una incertidumbre expandida de ± 1.1 nm;

269 nm SRM 1691 las microesferas de poliestireno es de 269 nm, con una incertidumbre expandida de ± 4 nm;

895 nm SRM 1690 microesferas de poliestireno es de 895 nm, con una incertidumbre expandida de ± 5 nm.

Las mediciones se realizaron utilizando análisis de movilidad diferencial y son trazables a la longitud de onda del láser He-Ne en el aire, 632.807 nm, que se ha determinado con respecto al estándar fundamental para la longitud.

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Los diámetros esféricos están calibrados con dimensiones lineales calculadas por NIST. Se utilizan esferas en lugar de partículas de forma irregular para minimizar la respuesta de los escáneres láser que son sensibles a las partículas de forma. Los estándares se empaquetan como suspensiones acuosas en botellas con gotero 5 mililitros (ml). Las concentraciones de partículas están optimizadas para facilitar la dispersión y la estabilidad coloidal. Las esferas tienen una densidad de 1.05 g / cm3 y un índice de refracción de 1.59 @ 589 nm, medido a 25 grados centígrados.

Cada paquete contiene un Certificado de Calibración y Trazabilidad a NIST que incluye una descripción del método de calibración y su incertidumbre, y una tabla de propiedades químicas y físicas. También se encuentra disponible una Hoja de datos de seguridad del material, con instrucciones de manejo y eliminación. Las botellas de PSL están numeradas para un servicio técnico y asistencia convenientes después de la venta.

NIST SRM Spheres	60.4nm, 101.8nm, 269nm y 895nm
Composición de partículas	Poliestireno Látex, Esferas PSL
Densidad de particula	0.625 g / cm³
Índice de refracción	1.59 @ 589nm (25 ° C)
Tamaño de la botella	5 ml
Fecha de caducidad	≤ 24 meses
Aditivos	Contiene trazas de surfactante
Temperatura de almacenamiento sugerida	2 8-° C
Tamaño de botella y volumen	Botella 5ml

Esferas de PSL, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm
Producto Parte #	Diámetro nominal	Pico medio certificado	Std. Desarrollo y CV	Contenido de sólidos
AP1690	895 nm	895nm ± 5 nm	0.7 nm	0.50%
AP1691	269 nm	269nm ± 4 nm	5.3 nm	0.50%
AP1963A	101.8 nm	101.8nm ± 1.1 nm	0.55 nm	0.50%
AP1964	60.4 nm	60.39nm ± 0.63 nm	0.31 nm	0.50%

Calibración del tamaño de partícula del material de referencia estándar NIST

Descripción

NIST SRM, estándares de tamaño de partícula, esferas de PSL, calibración de tamaño

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