Los patrones de obleas de calibración se producen con esferas de látex de poliestireno y perlas de látex de poliestireno, que son patrones de tamaño de partícula rastreables por NIST.

Los estándares de calibración de obleas se producen con esferas de látex de poliestireno, depositadas sobre la superficie de la oblea como una deposición completa a través de la oblea o como deposiciones de múltiples puntos alrededor de la oblea. Los estándares de tamaño de partículas son trazables al NIST y el certificado de tamaño del estándar de oblea de calibración se basa en esa trazabilidad NIST. Se depositan perlas de látex de poliestireno sobre la superficie de la oblea, cada tamaño con un pico de tamaño monodisperso. Los tamaños depositados están disponibles entre 40 nm y 12 micrones. El estándar de obleas PSL resultante se utiliza para calibrar las curvas de respuesta de tamaño de los sistemas de inspección de obleas Tencor Surfscan 6220 y 6440; así como los sistemas de inspección de obleas KLA-Tencor Surfscan SP1, SP2, SP3, SP5 y SP5xp. La deposición completa es donde las partículas de látex de poliestireno con un solo pico de tamaño estrecho se depositan uniformemente en toda la superficie de la oblea. Deposición puntual significa que las perlas de látex de poliestireno se depositan como un solo pico de tamaño estrecho, pero se depositan como una pequeña mancha en un lugar de la oblea; o depositados en varios tamaños alrededor de la oblea.

Estándar de oblea de calibración - Solicitar una cotización

Applied Physics produce estándares de obleas de calibración según sus especificaciones:

Tamaño de la oblea: 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm o 300 mm

Tipo de deposición: deposición COMPLETA o deposición puntual

Superficie de la oblea: Prime Silicon, Customer Si Wafer, Customer Glass Wafer, Customer Bare Mask

Recuento de partículas: el recuento es aproximado y depende del tamaño de la oblea, el recuento suele estar entre 2500 y 20000, según lo mide nuestro sistema de inspección de obleas.

Certificación: rastreable por NIST

Los sistemas de inspección de obleas, ahora llamado sistema de inspección de escaneo de superficie (SSIS), se utilizan para escanear obleas sin patrón durante la fabricación del dispositivo, a fin de monitorear la limpieza de las obleas iniciales antes de la fabricación del dispositivo. La herramienta SSIS utiliza un rayo láser para escanear la superficie de la oblea. El ancho del rayo láser limita la resolución del tamaño de partícula. Por ejemplo, si el ancho del haz es de 1 micrón de ancho, entonces una partícula menor de 1 micrón de diámetro sería difícil de dimensionar. El concepto básico de detección de partículas de la herramienta SSIS utiliza un escaneo superpuesto para diseñar un mapa de escaneo, que luego ubica las partículas detectadas en un mapa de escaneo, asignado en tamaño de partícula y ubicación X / Y en la superficie de la oblea. A medida que el láser escanea a través de la oblea, cuando se detecta una partícula, la partícula emite una firma de luz, que es detectada por un diodo de estado sólido (SSD). La potencia del rayo láser, el ancho del rayo y la uniformidad de la potencia a lo largo del ancho del rayo láser son elementos que controlan la precisión de los sistemas de inspección de obleas para dimensionar correctamente las partículas de la superficie. Además, el detector de estado sólido o el detector de tubo fotomultiplicador afectan el tamaño de las partículas.

El propósito principal de un estándar de oblea de calibración es calibrar una herramienta SSIS con estándares de tamaño rastreables NIST, calibrados en todo el rango de tamaño de la herramienta SSIS. Hoy en día, las herramientas SSIS suelen ofrecer una detección de tamaño mínimo de 40 nm. Estas serían las herramientas KLA-Tencor SP3 y SP5, y algunas de estas herramientas ahora están por debajo de la detección de tamaño de partículas de 20 nm. Las herramientas SSIS más antiguas, como KLA-Tencor SP1 y SP2, detectan a 85 nm y más. Los antiguos Tencor 6200, Tencor 6220, Tencor 6400 y Tencor 6420 suelen detectar alrededor de 150 nm o más.

Cada una de estas herramientas puede utilizar de 3 a 8 estándares de oblea de calibración diferentes que ayudan a calibrar la precisión del tamaño en la sensibilidad mínima de partícula, la sensibilidad máxima de partícula y un número de puntos de calibración entre los puntos mínimo y máximo, formando una curva de calibración para esa inspección de oblea. herramienta. Una vez calibrada, la herramienta SSIS puede responder de manera consistente a las diferentes partículas detectadas en obleas sin patrón.

Calibración de oblea estándar, deposición completa, 5um - Calibración de oblea estándar, deposición puntual, 100nm

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Applied Physics produce estándares de obleas de calibración según sus especificaciones:

Tamaño de la oblea: 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm o 300 mm

Tipo de deposición: deposición COMPLETA o deposición puntual

Superficie de la oblea: Prime Silicon, Customer Si Wafer, Customer Glass Wafer, Customer Bare Mask

Recuento de partículas: el recuento es aproximado y depende del tamaño de la oblea, el recuento suele estar entre 2500 y 20000, según lo mide nuestro sistema de inspección de obleas.

Certificación: rastreable por NIST

Los sistemas de inspección de obleas, ahora llamado sistema de inspección de escaneo de superficie (SSIS), se utilizan para escanear obleas sin patrón durante la fabricación del dispositivo, a fin de monitorear la limpieza de las obleas iniciales antes de la fabricación del dispositivo. La herramienta SSIS utiliza un rayo láser para escanear la superficie de la oblea. El ancho del rayo láser limita la resolución del tamaño de partícula. Por ejemplo, si el ancho del haz es de 1 micrón de ancho, entonces una partícula menor de 1 micrón de diámetro sería difícil de dimensionar. El concepto básico de detección de partículas de la herramienta SSIS utiliza un escaneo superpuesto para diseñar un mapa de escaneo, que luego ubica las partículas detectadas en un mapa de escaneo, asignado en tamaño de partícula y ubicación X / Y en la superficie de la oblea. A medida que el láser escanea a través de la oblea, cuando se detecta una partícula, la partícula emite una firma de luz, que es detectada por un diodo de estado sólido (SSD). La potencia del rayo láser, el ancho del rayo y la uniformidad de la potencia a lo largo del ancho del rayo láser son elementos que controlan la precisión de los sistemas de inspección de obleas para dimensionar correctamente las partículas de la superficie. Además, el detector de estado sólido o el detector de tubo fotomultiplicador afectan el tamaño de las partículas.

El propósito principal de un estándar de oblea de calibración es calibrar una herramienta SSIS con estándares de tamaño rastreables NIST, calibrados en todo el rango de tamaño de la herramienta SSIS. Hoy en día, las herramientas SSIS suelen ofrecer una detección de tamaño mínimo de 40 nm. Estas serían las herramientas KLA-Tencor SP3 y SP5, y algunas de estas herramientas ahora están por debajo de la detección de tamaño de partículas de 20 nm. Las herramientas SSIS más antiguas, como KLA-Tencor SP1 y SP2, detectan a 85 nm y más. Los antiguos Tencor 6200, Tencor 6220, Tencor 6400 y Tencor 6420 suelen detectar alrededor de 150 nm o más.

Cada una de estas herramientas puede utilizar de 3 a 8 estándares de oblea de calibración diferentes que ayudan a calibrar la precisión del tamaño en la sensibilidad mínima de partícula, la sensibilidad máxima de partícula y un número de puntos de calibración entre los puntos mínimo y máximo, formando una curva de calibración para esa inspección de oblea. herramienta. Una vez calibrada, la herramienta SSIS puede responder de manera consistente a las diferentes partículas detectadas en obleas sin patrón.

Calibración de oblea estándar, deposición completa, 5um - Calibración de oblea estándar, deposición puntual, 100nm